Résumé

La traçabilité des mesures en basses pressions absolues est réalisée dans les laboratoires nationaux de métrologie par la méthode dite de l’expansion continue. Cette méthode nécessite la mesure et la génération d’un flux gazeux entre 4 × 10-12 mol·s-1 et 4 × 10-7 mol·s-1. Afin d’améliorer ses incertitudes de mesure dans le domaine des pressions absolues inférieures à 10-3 Pa, le Laboratoire national de métrologie et d’essais (LNE) a développé dans un premier temps une référence primaire pour la mesure de flux gazeux dans la gamme précitée avec une incertitude élargie inférieure à 1%. Par extension, le fluxmètre gazeux permet également l’étalonnage des fuites de gaz, activité traditionnelle du département pression-vide du LNE, pour les fuites référencées au vide entre 4 × 10-12 mol·s-1 et 4 × 10-7 mol·s-1 (1 × 10-8 Pa·m3·s-1 à 1 × 10-3 Pa·m3·s-1) et les fuites de gaz frigorigènes au fréon R-134a, référencées à la pression atmosphérique, entre 3 × 10-9 mol·s-1 et 2 × 10-8 mol·s-1 (10 g par an à 60 g par an). Les résultats d’étalonnage d’une fuite capillaire sont présentés et comparés aux résultats obtenus par la méthode de remontée de pression, habituellement utilisée pour ce type d’instrument. Un bilan d’incertitude exhaustif sur le flux gazeux mesuré est établi et appliqué à l’utilisation du fluxmètre gazeux dans le cadre de l’expansion continue.

Mots clés

fluxmètre à pression constante
flux gazeux
méthode d’expansion continue
basse pression absolue
fuite de référence