Lundi 8 juillet, Damien RICHERT soutiendra sa thèse de doctorat de l’Université de Lyon intitulée « Métrologie des techniques de microscopie à sonde locale micro-onde appliquées aux mesures de transport dans le domaine des semiconducteurs »

Laboratoire d'accueil du doctorant

Les travaux de thèse ont été menés au LNE au sein de l’équipe de Métrologie électrique « Fondamentale » en collaboration avec l’Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL). Ils ont été dirigés par Brice Gautier, Professeur des universités de l’Université Lyon 1 et co-dirigés par François Piquemal, HDR, responsable du Département « Electricité fondamentale » de la DMSI du LNE.

Résumé de la thèse

Les travaux ont contribué au développement d’outils métrologiques pour la mesure de propriétés électriques de matériaux, à l’échelle nanométrique, par la technique de microscopie à sonde locale micro-onde (SMM - Scanning Microwave Microscopy). Il s’agit d’un microscope à force atomique couplé à un analyseur de réseaux vectoriel. La thèse a permis d’établir les sources d’incertitudes de cette technique de mesure d’impédance électrique, de fournir une incertitude de mesure avec le banc du LNE et de proposer des échantillons de référence caractérisés pour la mesure d’impédance par SMM.

Ces mesures par SMM au LNE sont l’objet de travaux de recherche en métrologie du programme « Electricité-Magnétisme » du RNMF menés dans le cadre du projet MetroSMM « Développement d’une métrologie pour le microscope à sonde locale micro-onde » et du projet européen ELENA « Electrical nanoscale metrology in industry » d’EURAMET/EMPIR coordonné par le LNE (F. Piquemal).

Annonce avec le résumé complet de la thèse :
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Date et lieu de soutenance

le lundi 8 juillet 2024, à 10h30,

au LNE, 1 rue Gaston Boissier, Paris 15e (Salle des conférences)