Métrologie des angles (SIB58 Angles)

Image

Le projet porte sur deux types de mesures d’angles distinctes et complémentaires : les faibles déviations angulaires avec une exactitude de quelques nanoradians sur 1 000’’
(~4,8×10^-3 rad) et les mesures d’angles à l’échelle du tour avec des incertitudes de l’ordre de 0,01’’ (~4,8×10^-8 rad). Pour ces deux types de mesures, les études portent sur les moyens et méthodes de laboratoire, les possibilités d’étalonnage in situ et également sur l’amélioration des techniques utilisées. Enfin le projet propose aussi l’étude des systèmes dit « hybrides » combinant les techniques de mesure à l’échelle du tour avec des techniques de mesure de faibles déviations angulaires.

Implantation d’un hexapode sur le plateau de référence angulaire

L’essentiel des développements du LNE-LCM ont été réalisés sur le plateau angulaire de référence du laboratoire. Pour mener à bien les études sur les codeurs angulaires et sur les systèmes hybrides, il est nécessaire de connaître et pouvoir corriger les mouvements angulaires transversaux (selon les deux axes perpendiculaires à l’axe de rotation principal) et les mouvements de battement axial et radial. De plus il est nécessaire de positionner finement à 0,1’’ (~4,8×10^-7 rad) le plateau en position angulaire. Pour répondre à ces besoins, un hexapode constitué de 6 actionneurs piézoélectriques a été implanté sur le plateau angulaire de référence.

Image

L’hexapode permet de corriger les erreurs de justesse du système qui génère les rotations du plateau angulaire ainsi que la reproductibilité du positionnement à une consigne donnée.

Avec cet hexapode la possibilité de positionner le plateau à un angle souhaité a été considérablement amélioré. La reproductibilité moyenne de positionnement est nettement améliorée de 0,17’’ à 0,03’’ entre 0 et 360°.

Erreurs d’interpolation des codeurs angulaires

Les erreurs d’interpolations sont un paramètre important pour les codeurs angulaires, et les tables tournantes utilisant des codeurs angulaires. Pour les codeurs commerciaux, ces dernières sont en général de l’ordre de 1 à 2 % de la période du réseau gravée sur le disque du codeur. Ainsi pour un codeur de 360 000 lignes (une ligne tous les 0,01°, soit 36’’) cela correspond à des erreurs d’interpolation de l’ordre de 0,36’’ à 0,72’’. Toutefois des algorithmes de correction existent et certains constructeurs introduisent des algorithmes de correction dans leurs électroniques de comptage. Des techniques de séparation d’erreurs voisines des techniques de multi-retournement existent : il suffit de mesurer les erreurs de justesse d’un plateau avec un auto-collimateur sur une plage de mesure pour 3 positions relatives différentes du plateau et de l’auto-collimateur. Les 3 positions angulaires différentes doivent être premières entre elles. Cette technique dite de « shearing » a été mise au point par la PTB pour estimer les erreurs d’interpolation des codeurs angulaires. Dans le cadre de ce projet européen, une comparaison des différents instruments (plateaux angulaires) des participants a été réalisée en utilisant cette technique. Le LNE-LCM a effectué les mesures sur une plage de ±25’’ par pas de 0,5’’. Les erreurs d’interpolation sont au maximum de 0,03’’ c’est-à-dire bien en deçà des 1% à 2%.

Etude des systèmes hybrides

Un système hybride est un instrument constitué d’un plateau tournant sur lequel est fixé un réflecteur de kit d’optique angulaire d’un interféromètre laser. L’idée est de pourvoir bénéficier de la qualité des mesures des options angulaires des interféromètres laser (qui sont limités à un domaine angulaire de ±15°) sur le domaine de 0 à 360°. Les instruments les plus courants sont constitués soit d’un plateau indexeur (usuellement avec un pas d’indexage de 5°), soit d’un plateau tournant muni d’un codeur angulaire. Ces systèmes sont principalement dédiés à l’étalonnage des plateaux tournants des machines-outils. Les spécifications des constructeurs sont en général de ±1’. Le LNE-LCM a étalonné un de ces systèmes. Les résultats obtenus ont montré que les spécifications sont tenues, i.e. que l’instrument est bien adapté pour les machines-outils.

Site du projet :

http://anglemetrology.com/

• Amélioration de la référence angulaire du LNE-LCM
• Amélioration de la connaissance des caractéristiques des codeurs angulaires
• Validation des mesureurs d’angles hybrides utilisés pour l’étalonnage des plateaux des machines-outils

• TUBITAK,
• CEM,
• CMI,
• INRIM,
• IPQ,
• LNE,
• MG,
• MIKES,
• PTB,
• SMD,
• AIST,
• FAGOR AUTOMATION,
• IK4-TEKNIKER,
• KRISS,
• MWO