Résumé de la thèse
Cette thèse s’inscrit dans les recherches et le développement de composants à ondes élastiques de surface dans des environnements à hautes températures de plus de 600 °C. L’objectif est la réalisation de composants auto-encapsulés à ondes élastiques de surface pouvant atteindre une température de 900 °C. Dans ces travaux, nous introduisons une méthode de modélisation du système permettant une résolution unifiée par la méthode des éléments finis d’un biais inhomogène. Cette méthode permet d’effectuer un calcul direct du problème de biais et d’en extraire les paramètres calculés avec la méthode de perturbation ainsi que d’autres paramètres. Cette méthode contribue à l’amélioration du réalisme des simulations numériques de structures soumises à de larges variations des paramètres environnementaux. Nous décrivons dans ce manuscrit la démarche de l’étude, la conception, la réalisation et les tests de résonateurs à ondes de surface non-encapsulés pour des cycles de recuits sous air atteignant les 900 °C ainsi qu’un banc de mesures permettant de réaliser les mesures in situ. Nous évoquons également la conception et réalisation de l’encapsulation de ces résonateurs par une technologie innovante par Wafer-Level Packaging pour les hautes températures.