Résumé de la thèse

Le laboratoire commun de métrologie LNE-CNAM (LCM) souhaite affiner sa maîtrise des références de pression afin de réaliser des appareillages de tout premier rang au niveau international. L’incertitude relative visée sur les références de pression est de l’ordre de 10–6. Cet objectif se traduit par une problématique de métrologie dimensionnelle où une mesure de la forme des pistons/cylindres utilisés dans les balances manométriques doit être menée. La mesure de cylindricité est également impliquée dans un très grand nombre d’applications industrielles comme la qualification d’étalons de référence destinés à la qualification d’appareillages de mesure. Ce travail de recherche, réalisé dans le cadre d’une convention CIFRE avec la société GEOMNIA, concerne la réalisation d’un instrument de référence de très haute précision permettant la mesure de forme de cylindres creux ou pleins. Il propose un saut technologique pour satisfaire une incertitude sur la mesure de l’écart de cylindricité de l’ordre de 10 nm dans un volume de mesure cylindrique de diamètre 350 mm et de hauteur 150 mm. La mesure de forme est habituellement pratiquée en déplaçant un capteur par rapport à la surface à mesurer par un guidage de haute précision. Il n’est cependant pas possible de réaliser un guidage entre deux solides avec une précision permettant de garantir les incertitudes souhaitées, même en utilisant les techniques de correction d’erreurs dont la précision est limitée par le défaut de répétabilité des guidages. Pour satisfaire à ce niveau d’incertitude, cette thèse propose une démarche basée sur le concept de structure métrologique dissociée. La mesure d’une pièce consiste alors à comparer sa forme à celle d’une pièce cylindrique de référence. Cette dernière doit seulement présenter une stabilité de forme parfaite. La cartographie d’écart de forme de la référence cylindrique doit cependant être identifiée avec la même incertitude visée.

Le travail de recherche développé propose une analyse détaillée des machines actuelles et de leurs limitations. Suite à cette analyse, une architecture de machine a été proposée pour lever ces limitations. Cette architecture tient compte des écarts « secondaires » liés à la position des capteurs et des effets de second ordre, pour satisfaire la précision visée. Une procédure complète d’étalonnage de la machine a été élaborée en s’inspirant des méthodes de séparation d’erreurs. Cette procédure originale permet de séparer les défauts de forme du cylindre de référence de ceux d’une pièce de qualification cylindrique mesurée simultanément. La méthode employée ne présente pas de limitations en termes d’exactitude. Cette procédure a été validée expérimentalement. Une analyse des effets liés à la mesure de surfaces cylindriques par des capteurs capacitifs a été menée. Ces essais ont conduit au développement de stratégies d’étalonnage de ces capteurs in situ utilisant des interféromètres à laser intégrés dans la machine. La traçabilité métrologique des résultats des mesures est ainsi garantie. Deux bancs de tests ont été développés pour caractériser les diverses influences et valider les procédures d’étalonnage des capteurs. La conception détaillée de l’instrument est issue de la synthèse des réflexions menées sur l’architecture, sur l’étalonnage et sur la maîtrise de la mesure de déplacements par capteurs capacitifs. Ce travail a abouti à la réalisation de ce nouvel instrument de référence.

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