Publications

CHENG B., GILLOT P., MERLET S. et PEREIRA DOS SANTOS F., “Influence of chirping the Raman lasers in an atom gravimeter: Phase shifts due to Raman light shift and to the finite speed of light”, Physical Review A, 92, 2015, DOI: 10.1103/PhysRevA.92.063617.

JIANG Z., PALINKAS V., FRANCIS O., MERLET S., BAUMANN H., BECKER M., JOUSSET P., MÄKINEN J., SCHULZ H.R, KESSLER-SCHULZ K.U., SVITLOV S., COULOMB A., TISSERAND L., HU H.  et ROTHLEITNER CH., “Accurate gravimetry at the BIPM watt balance site”, Chapter “Earth on the Edge: Science for a Sustainable Planet”, Book Series: International Association of Geodesy Symposia,, 139, 371-376, 2015, DOI: 10.1007/978-3-642-37222-3_49.

THOMAS M., ESPEL P., ZIANE D., PINOT P., JUNCAR P., PEREIRA DOS SANTOS F., MERLET S., PIQUEMAL F. et GENEVÈS G., “First determination of the Planck constant using the LNE watt balance”, Metrologia, 52, 2015, 433-443, DOI: 10.1088/0026-1394/52/2/433.

Communications

THOMAS M., ESPEL P., BIELSA F., PINOT P., JUNCAR P., GENEVÈS G. et PIQUEMAL F., “A determination of the Planck constant in air by the LNE watt balance”, CODATA workshop, Eltville, Allemagne, 2-6 février 2015.

CHENG B., GILLOT P., LANDRAGIN A., MERLET S.  et PEREIRA DOS SANTOS F., “Residual clock effect in Cold Atom Gravimeter”, AG First-TF, Besançon, France, 16 mars 2015.

GILLOT P., CHENG B., LANDRAGIN A., MERLET S. et PEREIRA DOS SANTOS F., “Residual clock effect in cold atom gravimeter”, Coloq14, Rennes, France, 6-9 juillet.

LANDRAGIN A., DUTTA I., GILLOT P., KOHLHAAS R., LAUTIER J., MEUNIER M., SAVOIE D., CHENG B., FANG B., GARRIDO ALZAR C., GEIGER R., MERLET S. et PEREIRA DOS SANTOS F., “Atom Interferometry for inertial sensors: fundamental and practical sensitivity limits”, 23e Congrés général de la SFP, Strasbourg, France, 24-25 août 2015.

PINOT P., ESPEL P., THOMAS M., ZIANE D. et PIQUEMAL F., « Expérience française de balance du watt: composantes d’incertitude associées à l’étalon de masse pour la détermination de la constante de Planck », 17e Congrès international de métrologie, Paris, France, 21-24 septembre 2015, DOI: 10.1051/metrology/20150018001.

PINOT P., LIU Y., ESPEL P., THOMAS M., ZIANE D. et PIQUEMAL F., « Expérience française de balance du watt : conception d’un fléau de balance monobloc et étude de son comportement mécanique », 17e Congrès international de métrologie, Paris, France, 21-24 septembre 2015, DOI: 10.1051/metrology/20150018002.

SILVESTRI Z. et DAVIDSON S., “How to disseminate the new mass unit?”, 17e Congrès international de métrologie, Paris, France, 21-24 septembre 2015, DOI: 10.1051/metrology/20150018003.

GILLOT P., CHENG B., MERLET S. et PEREIRA DOS SANTOS F., « Des performances ultimes d'un gravimètre atomique transporbale à l'hybridation avec un accéléromètre classique », Workshop Atomes froids et applications embarquées, Toulouse, France, 9 décembre 2015.

Publications

ALLAL D., « Dosimétrie radiofréquence (DAS/SAR) », Techniques de l’ingénieur, R1138, 2015.

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DRUNG D., KRAUSE C., GIBLIN S.P., DJORDJEVIC S., PIQUEMAL F., SERON O., RENGNEZ F., GÖTZ M., PESEL E. et SCHERER H., Validation of the ultrastable low-noise current amplifier as travelling standard for small direct currents, Metro-logia, 52, 2015, 756-763, DOI: 10.1088/0026-1394/52/6/756.

ISTRATE D., FORTUNE D., POREE A. et BLANC I., « Traçabilité de mesure des impulsions de courant électrique jusqu’à 50 kA », Revue française de métrologie, 39, 2015, 15-28, DOI: 10.1051/rfm/2015011.

KHAN M.S., POLETAEFF A. et NDILIMABAKA H., « Caractérisation des références électriques de transposition alternatif-continu en basse tension entre 10 Hz et 1 MHz au LNE », Revue française de métrologie, 38, 2015, 19-23, DOI: 10.1051/rfm/2015007.

LAFONT F., RIBEIRO-PALAU R., KAZAZIS D., MICHON A., COUTURAUD O., CONSEJO C., CHASSAGNE T., ZIELINSKI M., PORTAIL M., JOUAULT B., SCHOPFER F. et POIRIER W., Quantum Hall resistance standards from graphene grown by chemical vapour deposition on silicon carbide, Nature Communications, 6, 6806, 20 avril 2015, DOI: 10.1038/ncomms7806.

NDIAYE O., CHARLES M., ALLAL D. et BOCQUET B., « Caractérisation électromagnétique large bande de PZT en couche mince aux fréquences micro-ondes », Revue française de métrologie, 40, 2015, 33-39, DOI: 10.1051/rfm/2015017.

NDILIMABAKA H., « Réseaux électriques intelligents : défis technologiques et moyens de mesure », Techniques de l’ingénieur, 2015, R940.

RIBEIRO-PALAU R., LAFONT F., BRUN-PICARD J., KAZAZIS D., MICHON A., CHEYNIS F., COUTURAUD O., CONSEJO C., JOUAULT B., POIRIER W. et SCHOPFER F., Quantum Hall resistance standard in graphene devices under relaxed experimental conditions, Nature Nanotechnology, 10, 965-974, 7 septembre 2015, DOI: 10.1038/nnano.2015.192.

Communications

PIQUEMAL F., GOURNAY P. et THEVENOT O., Electrical determinations of the fine structure constant and impact on the SI”, Fundamental constants Meeting 2015 (IUPAP, Codata), Elteville, Allemagne, 1-6 février 2015.

RIBEIRO-PALAU R., LAFONT F., KAZAZIS D., MICHON A., COUTURAUD O., CONSEJO C., JOUAULT B., POIRIER W. et SCHOPFER F., Graphene-based quantum Hall resistance standard grown by chemical vapor deposition on silicon carbide”, APS March Meeting, San Antonio, Etats-Unis, 2-6 mars 2015.

PIQUEMAL F., Electrical determinations of the fine structure constant: impact for the SI”, Euramet Workshop on Calculable capacitors and AC impedance bridges, LNE, Paris, France, 4-5 mars 2015.

PIQUEMAL F., Metrology for nanoscale electrical measurements”, CCEM WGLF Meeting, BIPM, Sèvres, France, 11 mars 2015.

SCHOPFER F., RIBEIRO-PALAU R., LAFONT F., LEPRAT D., KAZAZIS D., MICHON A., COUTURAUD O., CONSEJO C. et JOUAULT B., Advances in user-friendly quantum Hall resistance standards based on graphene”, 29th meeting CCEM, BIPM, Sèvres, France, 12 mars 2015.

POIRIER W., LAFONT F., RIBEIRO-PALAU R., KAZAZIS D., MICHON A., JOUAULT B., COUTURAUD O., CONSEJO C., ZIELINSKI M., CHASSAGNE T. et SCHOPFER F., User-friendly graphene-based quantum resistance standards”, Graphene 2015, Bilbao, Espagne, 10-13 mars 2015.

RIBEIRO-PALAU R., Graphene-based quantum Hall resistance standards grown by CVD”, NIST, Gaithersburg, MD, États-Unis, mars 2015.

RIBEIRO-PALAU R.,Graphene-based quantum Hall resistance standards grown by CVD”, NIST, Boulder, CO, États-Unis, mars 2015.

ALLAL D. et ZIADÉ F., Adapter and method for improving the LISN input impedance measurement accuracy and traceability”, Euramet TC-EM SC RF&MW Experts meeting, Istanbul, Turquie, 14-15 avril 2015.

DELVALLÉE A., LOUARN K., ALMUNEAU G., LEPRINCE Y. et BOUNOUH A., Scanning microwave microscopy characterization of multi-junction solar cell (MJSC)”, Nanomeasure2015, Barcelone, Espagne, 15-16 avril 2015.

ZIADÉ F., 4TP impedance measurements up to 10 MHz”, Euramet TC-EM SC-LF Experts meeting, Boras, Suède, 21-22 mai 2015.

RIBEIRO-PALAU R., “CVD Graphene for quantum metrology”, School for advanced sciences of Luchon, Quantum transport in 2D systems, Session Workshop II (W2), 23-30 mai 2015.

POIRIER W., Graphene surpasses GaAs/AlGaAs heterostructures for the quantum Hall resistance metrology”, DC & Quantum Metrology Expert MeetingTCEM Euramet, Bern, Suisse, 27-29 mai 2015.

ALLAL D. et CHARLES M., Reference materials for spectrometer verification”, Final THzSecurity project Workshop, PMOD, Davos, Suisse, 29 mai 2015.

ALLAL D. et CHARLES M., Development of skin phantoms”, Final THzSecurity project Workshop, PMOD, Davos, Suisse, 29 mai 2015.

KAZEMIPOUR A., CHARLES M., ALLAL D., BORSERO M., ZILBERTI L., BOTTAUSCIO O., CHIAMPI M., KLEINE-OSTMANN T. et SCHRADER T., Skin model verification with thermal imaging”, Final THzSecurity project Workshop, PMOD, Davos, Suisse, 29 mai 2015.

ALLAL D. et HALL B., Propagation of calibration standards uncertainties through TRL procedure”, 4th European ANAMET Meeting, Metas, Bern-Wabern, Suisse, 3 juin 2015.

RIBEIRO-PALAU R., LAFONT F., BRUN-PICARD J., KAZAZIS D., MICHON A., CHEYNIS F., COUTURAUD O., CONSEJO C., JOUAULT B., POIRIER W. et SCHOPFER F., Graphene surpasses GaAs/AlGaAs for the application of the quantum Hall effect in metrology”, Graphene Week 2015, Manchester, Royaume-Uni, 22-26 juin 2015.

RIBEIRO-PALAU R., LAFONT F., KAZAZIS D., MICHON A., COUTURAUD O., CONSEJO C., JOUAULT B., POIRIER W. et SCHOPFER F., Graphene sets a convenient quantum Hall resistance standard and supports the new SI, 21st International Conference on Electronic Properties of Two-Dimensional Systems (EP2DS-21), Sendai, Japon, 26-30 juillet 2015.

ZIADÉ F., KOKALJ M., OUAMEUR M., PINTER B. , BÉLIÈRES D., POLÉTAEFF A. et ALLAL D., Adapter and method for improving the LISN input impedance measurement accuracy”, EMC Europe, Dresden, Allemagne, 16-22 août 2015.

SALTER M., RIDLER N., ALLAL D., ZIADÉ F., HUDLICKA M. et PAVLICEK T., A reference printed circuit board (PCB) for validating microwave measurements on PCBs and a differential calibration kit for traceable measurements”, 45th European Microwave Conference (EuMC 2015), Paris, France, 6-11 septembre 2015.

LOUARN K., BOUNOUH A., FONTAINE C., OLIVIÉ F., LIBAUDE G., PIQUEMAL F., DELVALLEE A. et ALMUNEAU G., III-V based Tunnel Heterojunction for Multijunctions Solar Cells”, Pulse School 2015, Porquerolles, France, 14-18 septembre 2015.

AGAZAR M., « Mesure des hautes tensions par la technique d'échantillonnage », 17e Congrès international de métrologie, Paris, France, 21-24 septembre 2015, DOI: 10.1051/metrology/201510002.

ALLAL D., HALL B., VINCENT P., LITWIN A. et ZIADE F., « Propagation automatique des incertitudes : application aux techniques d’auto-étalonnage des analyseurs de réseau vectoriels », 17e Congrès international de métrologie, Paris, France, 21-24 septembre 2015, DOI: 10.1051/metrology/20150012006.

CHARLES M., LE SAGE Y., VINCENT-DROUART P. et LERAT J.-M., « Calcul numérique de l’incertitude de l’holographie extraite d’une mesure de champ proche planaire », 17e Congrès international de métrologie, Paris, France, 21-24 septembre 2015, DOI: 10.1051/metrology/20150002010.

LE SAGE Y., CHARLES M. et LERAT J.-M., « Mesure des paramètres d’une antenne sous une température controllée », 17e Congrès international de métrologie, Paris, France, 21-24 septembre 2015, DOI: 10.1051/metrology/20150012010.

POIRIER W., « Un étalon quantique de résistance électrioque en graphène facile à mettre en œuvre », 17e Congrès international de métrologie, Paris, France, 21-24 septembre 2015.

SINDJUI R., THEVENOT O., GOURNAY P., THUILLIER G., SERON O., KHAN S. et PIQUEMAL F., Improvement of the measurement chain linking the farad to the ohm”, 17e Congrès international de métrologie, Paris, France, 21-24 septembre 2015, DOI: 10.1051/metrology/20150012003.

ZIADE F., POLETAEFF A., KOKALJ M. et PINTER B., « Traçabilité des réseaux d’impédance de ligne (RSIL) », 17e Congrès international de métrologie, Paris, France, 21-24 septembre 2015, DOI: 10.1051/metrology/20150012011.

ALLAL D., « Mesure de la permittivité de liquides de référence pour la détermination du DAS », Journée scientifique « Caractérisation électromagnétique des matériaux en hyperfréquence », LNE, Paris, France, 5 novembre 2015.

ALLAL D. et CHARLES M., « Caractérisation de matériaux de référence pour la vérification des spectromètres térahertz », Journée scientifique « Caractérisation électromagnétique des matériaux en hyperfréquence », LNE, Paris, France, 5 nov. 2015.

CHARLES M., « Caractérisation électromagnétique des matériaux à partir de mesures jusqu'à 110 GHz sur ligne coplanaire », Journée scientifique « Caractérisation électromagnétique des matériaux en hyperfréquence », LNE, Paris, France, 5 nov. 2015.

ZIADE F. et LERAT J.-M., « Mesure de permittivité de matériaux diélectriques jusqu’à 4,5 GHz », Journée scientifique « Caractérisation électromagnétique des matériaux en hyperfréquence », LNE, Paris, France, 5 novembre 2015.

RIBEIRO-PALAU R., Graphene surpassed GaAs/AlGaAs for convenient quantum Hall resistance standards”, Joint meeting GDR-I Graphene & Nanotubes - GDR Mesoscopic Quantum Physics, Aussois, France, 29 nov. - 3 décembre 2015.

LOUARN K., FONTAINE C., ARNOULT A., OLIVIE F., LIBAUDE G., PIQUEMAL F., DELVALLEE A., BOUNOUH A. et ALMUNEAU G., « Jonctions tunnels à base d’hétérostructures à semiconducteurs III-V pour les cellules solaires multi-jonction à haut rendement », Journées Nationales du Photovoltaique (JNPV 2015), Dourdan, France, 1-4 décembre 2015.

SCHOPFER F., Quantum Hall resistance standard in graphene devices under relaxed experimental conditions”, Annual workshop, Collège doctoral Franco-Allemand (CDFA-05-06), Bochum, Allemagne, 8 décembre 2015.

ALLAL D., Comparison of two VNAs in the 1 mm coaxial line up to 110 GHz”, 5th European ANAMET Meeting, LNE, Paris, France, 11 décembre 2015.

ZIADÉ F., Uncertainty calculation of balanced standards up to 25 GHz”, 5th European ANAMET Meeting, LNE, Paris, France, 11 décembre 2015.

Résumé

Dans le cadre de nos travaux sur la traçabilité des mesures de paramètres S réalisées sous pointes, nous proposons une méthode permettant de déterminer l’impédance de référence de la technique d’étalonnage TRA utilisée pour les analyseurs de réseau vectoriels. Nous montrons qu’il est possible de déterminer l’impédance de référence de l’étalonnage à partir d’une procédure d’étalonnage TRA modifiée pour réduire les incertitudes de mesures. Les résultats de mesure, comparés à ceux obtenus en utilisant la technique d’étalonnage de référence multiline TRL, montrent l’efficacité de la méthode jusqu’à 45 GHz.

Mots clés

Analyseur De Réseau Vectoriel
paramètres S
mesure sous pointes
étalonnage TRA

Résumé

Le LNE a développé récemment un système d’étalonnage de tension continue à partir d’un réseau de jonctions Josephson programmable de 1 V. Ce nouveau système, entièrement automatique, est spécifiquement dédié aux activités de transfert, i.e. l’étalonnage de références de tension continue (références à diodes Zener et piles Weston) et de voltmètres numériques de grande précision. Il permet d’ores et déjà d’offrir de nouvelles possibilités d’étalonnage avec de meilleures incertitudes, tout en bénéficiant de la simplicité de mise en oeuvre des réseaux Josephson programmables. Ainsi la sortie 1,018 V des références de tension à diode Zener peut être étalonnée avec une incertitude relative typique de 80 nV (k = 2) dans le cadre de prestations courantes (soit une amélioration d’un facteur 7). Cet article décrit la conception de ce nouvel étalon et ses performances métrologiques.

Mots clés

étalon de tension continue
effet josephson
réseau programmable de jonctions josephson
étalonnage de tension

Résumé

L’article présente le nouvel étalon primaire du LNE pour les mesures des valeurs efficaces et des taux de distorsion harmonique de signaux périodiques contenant une composante fondamentale à 50 Hz et des harmoniques quasi-stationnaires jusqu’au rang 50. La méthode de mesure est basée sur l’échantillonnage des signaux par un voltmètre numérique et le traitement des échantillons par transformée de Fourier discrète. La traçabilité aux unités SI est assurée par des comparaisons avec un convertisseur thermique. Les incertitudes types sur la valeur efficace et le taux de distorsion sont respectivement de 22 µV/V et 0,0025% pour tous les signaux déformés étudiés.

Mots clés

étalon primaire
harmonique quasistationnaire
échantillonnage
temps d’intégration
convertisseur thermique

Résumé

L’article présente les nouvelles possibilités d’étalonnage en puissance électrique au LNE. L’étalon primaire est basé sur les techniques d’échantillonnage. Les signaux de tension et de courant sont numérisés puis traités par transformée de Fourier discrète. Jusqu’à présent, cet étalon avait été caractérisé pour les mesures de puissance active en régime sinusoïdal, dans la plage de fréquences 45 Hz–65 Hz. Désormais, il permet d’effectuer des raccordements en puissances active et réactive et le domaine de fréquences a été étendu jusqu’à 400 Hz.

Mots clés

wattmètre numérique
puissances active et réactive
bilan d’incertitude

Résumé de la thèse

Dans l’optique d’une modification du Système international d’unités (SI), le LNE développe l’expérience du triangle métrologique (ETM). Cette expérience consiste à appliquer la loi d’Ohm à l’aide des effets Hall quantique pour la résistance, Josephson pour la tension et tunnel à un électron (SET) pour le courant. L’objectif est d’augmenter la connaissance de la cohérence des constantes impliquées dans ces phénomènes. Dans ce cadre, ces travaux se sont intéressés à la possibilité d’utiliser les pompes à électrons de type R à 3 jonctions de façon métrologique autour de 10 pA. Le montage expérimental est conçu afin de mesurer le courant quantifié généré par le dispositif en utilisant un comparateur cryogénique de courants (CCC). Les principaux résultats ont été obtenus avec une pompe fabriquée par la PTB couplée à un CCC connecté en contre-réaction interne, i.e. utilisé comme un amplificateur de courant et ne donnant qu’une valeur relative du courant. Ces expériences ont permis de montrer l’existence de marches de courant jusqu’à environ 16 pA et une stabilité du courant généré par le dispositif sur des temps longs, indépendamment de la fréquence de pompage jusqu’à 100 MHz. Le niveau de bruit blanc est de 10–15 fA/Hz1/2 et, après 7 h de mesure à une fréquence de 100 MHz, une incertitude relative de type A de 4·10–6 a été atteinte. La dernière partie de ce travail présente la première réalisation directe de l’ETM. Dans ce cas, le courant généré par la pompe traverse une résistance étalonnée et la tension aux bornes de celle-ci est comparée à la tension délivrée par un réseau Josephson. Les premiers résultats qui sont présentés semblent prometteurs.

Texte intégral

Résumé de la thèse

Pour la plupart des laboratoires nationaux de métrologie, l’étalon de puissance hautes fréquences (HF) est constitué d’un microcalorimètre associé à une monture bolométrique. Toutefois, des efforts constants sont menés pour établir d’autres références. Ainsi, ce travail de thèse, effectué au sein du groupe HF du Laboratoire national de métrologie et d’essais (LNE) et du groupe Radiofréquences et Micro-ondes (RFM) de l’école TELECOM ParisTech, vise à étudier la faisabilité d’un étalon calculable de puissance à haute fréquence. Ce dernier permettrait de s’affranchir de toute procédure d’étalonnage car il serait alors raccordé directement aux principes physiques et mathématiques.

Cette thèse a pour objectif de modéliser entièrement l’étalon afin d’en calculer l’efficacité, η,  qui est son paramètre métrologique et qui représente ses pertes. Dans un premier temps, un étalon de puissance innovant a été réalisé en technologie coplanaire (CPW) avec un coefficient de réfection adapté jusqu’à 8 GHz. Dans un second temps, des simulations électromagnétiques 3D et des mesures Multiline TRL (Thru-Reflect-Line) ont permis d’établir son modèle électrique complet :

–       la transition du connecteur SMA vers la ligne CPW ;

–       le rayonnement ;

–       la constante de propagation, γ, et l’impédance caractéristique, Zc, de la ligne CPW ;

–       les capacités de découplage ;

–       l’interaction entre les composants.

L’écart moyen obtenu entre l’efficacité calculée et l’efficacité mesurée au microcalorimètre est inférieur à 1,2 %. La très bonne concordance obtenue entre le calcul et la mesure ouvre la voie vers un étalon calculable de puissance haute fréquence.

Résumé de la thèse

Les paramètres S constituent l’une des grandeurs de base de l’électricité-magnétisme dans le domaine radiofréquence. Ils sont normalisés par rapport à une valeur d’impédance dite de référence et sont mesurés à l’aide d’un analyseur de réseau vectoriel.

La précision des paramètres S des composants micro-ondes avec un analyseur de réseau vectoriel dépend de l'exactitude du calibrage utilisé pour corriger les erreurs inhérentes au système. Le calibrage consiste à mesurer des dispositifs particuliers plus ou moins bien connus, que l'on appelle étalons, afin de déterminer les erreurs systématiques du système avant la mesure du composant. Les coefficients d'erreurs calculés à partir de l'étalonnage seront utilisés pour caractériser les vrais paramètres S du dispositif.

La procédure de calibrage LAR (Line-Attenuator-Reflect), intégrée dans les analyseurs modernes et qui permet une large bande de mesure avec un nombre limité d’étalons de référence sur le wafer, est particulièrement attractive. Par contre, peu d’études ont été réalisées pour évaluer la traçabilité de cette méthode. C’est pourquoi le LNE a décidé de mener des études afin d’évaluer la traçabilité et la précision de mesure quand la méthode de calibrage LAR est utilisée. Dans ce contexte les travaux de thèse ont consisté à :

–       réaliser un kit de calibrage sur wafer pour exécuter à la fois le calibrage LAR et Multiline TRL qui est le calibrage de référence pour les mesures sur wafer ;

–       proposer une méthode basée sur un calcul d’erreur pour tenir compte du fait que les impédances d’entrée et de sorte de l’atténuateur étalon sont différentes de 50 Ώ. Outre sa précision, l’avantage de cette méthode est qu’elle ne nécessite pas la détermination précise de l’impédance de référence du calibrage LAR.

–       proposer une méthode originale analytique pour déterminer l’impédance d’entrée et de sortie de cali-brage et donc l’impédance de référence.

–       réaliser un kit de calibrage large bande pour les utili-sateurs, dont l’impédance de référence du calibrage LAR peut être obtenue par trois moyens : modélisation électrique de l’atténuateur, modélisation de l’impé-dance de référence par interpolation polynomiale et méthode simplifiée (procédure LAR-L).

–       l’analyse des erreurs dans le cas où le substrat du kit de calibrage est différent du substrat de dispositif à caractériser. Ces erreurs sont dues à la capacité de couplage entre les pointes et le substrat. Afin de réduire ces erreurs, une solution pour déterminer cette capacité de couplage a été proposée. Elle consiste à graver sur le wafer du dispositif sous test une ligne de transmission dont les dimensions doivent être connues, et dont on mesure les paramètres S après calibrage de l’analyseur de réseau vectoriel.

Texte intégral

Résumé de la thèse

L’élaboration de résistances calculables basées sur des dépôts de couches métalliques ultra minces s’inscrit dans un objectif général d’amélioration de la connaissance des constantes fondamentales de von Klitzing RK et de structure fine α, pour une contribution à la future nouvelle définition des unités électriques dans le Système international d’unités. Dans ce cadre, le Laboratoire national de métrologie et d’essais a développé un nouveau modèle d’étalon de résistance en courant alternatif, compact et robuste, basé sur le dépôt d’un film métallique ultra mince. Cette thèse a pour objet l’étude et la caractérisation de ces revêtements à base de Ni80Cr20, Ni50Cr50 et d’Evanohm déposés sur des substrats cylindriques en céramique, par pulvérisation cathodique magnétron.

Ce travail a d’abord permis la maîtrise des dépôts de couches ultra minces métalliques résistives sur des substrats cylindriques pour obtenir, compte tenu des très faibles épaisseurs des films, une homogénéité sur toute la longueur du bâtonnet de céramique et de très fortes résistivités par carré. Les caractéristiques des films telles que l’épaisseur, l’homogénéité (en épaisseur et en composition) ou encore la structure cristalline ont été déterminées. Une large gamme de valeurs de résistance a été fabriquée allant de quelques ohms à 200 kW alors que les valeurs obtenues précédemment étaient limitées à 10 kW. Le comportement en fréquence de ces résistances a été caractérisé au moyen d’un pont d’impédance coaxial à quatre paires de bornes. La variation en fréquence, entre le continu et 1 600 Hz, a été trouvée inférieure à 10–8 en valeur relative, ce qui démontre la capacité de ces dispositifs à servir d’étalons primaires de résistance en courant alternatif. Par ailleurs, des mesures d’impédance ont été effectuées aux fréquences intermédiaires (100 kHz – 100 MHz). La variation en fréquence de ces résistances est 100 fois inférieure à celle des meilleurs étalons d’impédance (capacité étalon) utilisés dans cette gamme de fréquences. Ceci ouvre la voie au développement d’un nouveau type d’étalons d’impédance couvrant le domaine de fréquences allant du continu jusqu’à 100 MHz.

Texte intégral