Caractérisation électromagnétique large bande de couche mince en PZT aux fréquences micro-ondes

Une méthode permettant de déterminer les propriétés électromagnétiques d’une couche mince de titano-zirconate de plomb (PZT) est présentée dans cet article. Dans un premier temps nous exposons une méthode large bande permettant l’extraction des propriétés intrinsèques d’un substrat supportant une ligne coplanaire (CPW), puis nous procédons à un étalonnage TRL afin d’extraire la permittivité de la couche mince de PZT intégrée à une topologie coplanaire.